氦檢漏的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。
氦檢漏在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用,代表了科技水準(zhǔn),以及人們對產(chǎn)品品質(zhì)的要求的提高,比如消防器材的檢漏,早在國內(nèi)采用的是浸水法,將滅火器放在水中,如果沒有氣泡冒出,就認(rèn)為是合格的,此種方法完全靠人的觀察,組當(dāng)遇到微小泄露時,根本無法察覺,很可能在以后的使用中遇到問題,甚至可能危及生命,使用氦質(zhì)譜檢漏儀則大大降低了泄露風(fēng)險,即使對微小的泄露也會偵測到,并加快了生產(chǎn)效率。
測試方法,使用氦質(zhì)譜檢漏儀的正壓法,先將滅火器內(nèi)沖入氦氣,然后放在密閉腔體內(nèi),腔體與氦質(zhì)譜檢漏儀相連,工作時先將腔體內(nèi)抽真空,到達一定的真空度后開始檢漏,測試漏率在10-5 mbar.I/s,下視為合格(實際測試在24小時泄露2 ml.約為10-5 mbar.l/s)。