冷凝器氦檢漏設(shè)備檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收及而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
1.較小的檢漏率:即冷凝器氦檢漏設(shè)備能檢測(cè)到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間:當(dāng)一定流量的探測(cè)氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器時(shí),電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間,泄漏指示器可以達(dá)到大值,泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零,需要一定時(shí)間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時(shí)間略長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間:冷凝器氦檢漏設(shè)備開啟電源與能檢測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。