氦檢漏設(shè)備的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。
這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
氦檢漏設(shè)備在各個(gè)行業(yè)的應(yīng)用:
1.電子行業(yè)的應(yīng)用
微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類(lèi)傳感器、起博器。
2.真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)的應(yīng)用
管道、接頭、閥門(mén)、波紋管、各種真空泵、各類(lèi)排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、高能加速器、醫(yī)用加速器、輻照加速器、鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。
3.核工業(yè)的應(yīng)用
鈾分離裝置、存儲(chǔ)裝置、核發(fā)電裝置。
4.制冷行業(yè)的應(yīng)用
冰箱、空調(diào)、溴化鋰制冷機(jī)組、汽車(chē)用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。
5.不銹鋼保溫器皿的應(yīng)用
真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。