真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀主要性能指標試驗方法
2023.06.21
1.真空度低；
2.燈絲電流過大；
3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。
那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。
(1)便攜性:許多真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化：氦峰自動標定，零點自動調(diào)整，量程自動轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。
