1.較小的檢漏率:即氦質(zhì)譜檢漏儀能檢測(cè)到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間:當(dāng)一定流量的探測(cè)氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器時(shí),電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間,泄漏指示器可以達(dá)到大值,泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零,需要一定時(shí)間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時(shí)間略長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間:氦質(zhì)譜檢漏儀開(kāi)啟電源與能檢測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。
當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
這個(gè)時(shí)候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行清洗。具體的清洗方法如下:
先用較細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電及部件;然后用航空汽油或丙酮和無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。