氦檢漏儀器的較小可檢漏率(靈敏度),指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下(示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦),做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少,且沒有較大漏孔;檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏,檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空,裝置的反應(yīng)時(shí)長小于3s,3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的;
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍;
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣(100kPa的壓力)經(jīng)漏孔通向真空端(遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力)的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀,為表征這種反應(yīng)特性,較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度,即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”,指處在工作壓力下(工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa)的質(zhì)譜室,使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時(shí),當(dāng)中氦的濃度。
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如氦檢漏儀器,需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/span>
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。