氦檢漏儀器怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染
1、由于工作人員操作失誤所導致的真空泵油污染。因為公司不一定只會使用一個牌子的真空泵,會有很多真空泵,所使用的真空泵油也不盡相同。工作人員在添加真空泵油的時候,把不同的真空泵油混合使用,這個會導致原先真空泵油和新加入的真空泵油發(fā)生不良反應(yīng),使得真空泵油受到污染。
2、新油舊油混合使用,導致污染。舊油在長期的使用過程中,會因為雜質(zhì)造成污染,如果這個時候沒有將真空泵里的舊油清理干凈,直接加入新油,就會導致新油也收到污染。
3、新買的真空泵或真空泵維修后,沒有按照用規(guī)定的油清洗真空泵內(nèi)部,導致真空泵油受到污染。
氦檢漏儀器的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。