氦檢漏儀器靈敏度降低怎么維護？
2024.05.26
1.氦檢漏儀器的功能可以滿足檢漏的要求。如果有些儀器沒有反流檢漏功能，則不適用于吸槍方法的檢漏；有些儀器沒有設置報廢漏率的功能，不適合用于批量產(chǎn)品的檢漏；流水線需要一定的檢漏速度，此時，應選擇帶有雙工位的檢漏器。
2.儀器的靈敏度可以滿足檢漏的要求。不同類型的氦質(zhì)譜檢漏器在國內(nèi)外生產(chǎn)的靈敏度不同。如果檢漏要求的靈敏度高，我們應該仔細選擇。
3.被檢件不能受油污染，那么可以選購無油真空系統(tǒng)檢漏儀。
4.如果被檢件體積較大，則必須選擇抽泵抽速大的檢漏儀，否則需要加預抽泵。
5.如被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，應選用功能齊全、靈敏度高、檢漏范圍寬的檢漏儀器。
6.檢漏地點不固定，需經(jīng)常搬運氦氣質(zhì)譜檢漏儀時，應選用小型便攜式儀器。
7.氦檢漏儀器的價格是否低，操作是否簡單，維修是否方便等問題，在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，也要綜合考慮。
靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢漏儀器的主要性能指標。
①靈敏度及其校準
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。
②反應時間、清除時間及其測定
反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
