真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理
2024.05.30
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、級(jí)限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。
③工作真空、級(jí)限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級(jí)限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的級(jí)限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。
1.操作方便：體積小，重量輕，結(jié)構(gòu)緊湊，操作面板簡(jiǎn)單；
2.性能高：真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀采用了進(jìn)口檢漏儀儀分了泵與高性能的質(zhì)譜系統(tǒng)，靈敏度度高，檢測(cè)壓強(qiáng)高，響應(yīng)時(shí)間快；
3.功能強(qiáng)大：多種模自動(dòng)切換，具有權(quán)限管理功能；
4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命，系統(tǒng)具有強(qiáng)大的保護(hù)功能；
5.多種接口：具有RS232/485，外控IO，遙控器接囗以及外部規(guī)管接口等用戶接囗。
