氦檢漏系統(tǒng)的檢漏方式
2024.06.09
靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢漏系統(tǒng)的主要性能指標。
①靈敏度及其校準
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。
②反應時間、清除時間及其測定
反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
1.較小的檢漏率：即氦檢漏系統(tǒng)能檢測到較小的檢漏率。
2.響應清除時間：當一定流量的探測氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，泄漏指示器可以達到大值，泄漏指示器不能立即恢復到零，需要一定時間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。
3.啟動時間：氦檢漏系統(tǒng)開啟電源與能檢測到泄漏之間的時間。
