氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收及而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用,代表了科技水準(zhǔn),以及人們對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的要求的提高,比如消防器材的檢漏,早在國(guó)內(nèi)采用的是浸水法,將滅火器放在水中,如果沒有氣泡冒出,就認(rèn)為是合格的,此種方法完全靠人的觀察,組當(dāng)遇到微小泄露時(shí),根本無法察覺,很可能在以后的使用中遇到問題,甚至可能危及生命,使用氦質(zhì)譜檢漏儀則大大降低了泄露風(fēng)險(xiǎn),即使對(duì)微小的泄露也會(huì)偵測(cè)到,并加快了生產(chǎn)效率。
測(cè)試方法,使用氦質(zhì)譜檢漏儀的正壓法,先將滅火器內(nèi)沖入氦氣,然后放在密閉腔體內(nèi),腔體與氦質(zhì)譜檢漏儀相連,工作時(shí)先將腔體內(nèi)抽真空,到達(dá)一定的真空度后開始檢漏,測(cè)試漏率在10-5 mbar.I/s,下視為合格(實(shí)際測(cè)試在24小時(shí)泄露2 ml.約為10-5 mbar.l/s)。