冷凝器氦檢漏設(shè)備的維護方法及常見故障的處理
2024.07.31
冷凝器氦檢漏設(shè)備是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的檢漏儀器。
冷凝器氦檢漏設(shè)備由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
科技信息化不斷更新迭代的市場，冷凝器氦檢漏設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備被迫更新，另一方面每個行業(yè)的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
冷凝器氦檢漏設(shè)備進展集中體現(xiàn)如下方面：
1.智能化：以往的冷凝器氦檢漏設(shè)備操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。
2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四級檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
