氦質(zhì)譜檢漏儀在真空度檢定中的應(yīng)用
2020.07.22
氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體剖析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。
氦氣作為一種惰性氣體，對設(shè)備無腐蝕性，對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾小，因此常作為泄漏氣體使用。
將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對氦氣反響的作業(yè)狀態(tài)的氣體剖析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則剖析儀即有所反響，從而可知漏孔所在及漏氣量巨細。 氦質(zhì)譜檢漏技能是真空檢漏領(lǐng)域里不行缺少的一種技能，因為檢漏效率高，簡潔易操作，儀器反響靈敏，精度高，不易受其他氣體的攪擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例Epichem (Epichem Limited,特別氣體分部) 要求 ESS 設(shè)計并制作了一套檢測系統(tǒng), 用于泵壓、烘烤、真空檢漏、正壓走漏檢測以及有機金屬起泡劑的制備氣認證。
起泡器 (曩昔常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進出閥。因為具有高真空超潔凈的特點，因而起泡器在填充前要求適當?shù)臐崈簟Ｒ黄?，因為起泡器?nèi)填充的是 氧氣，避免走漏發(fā)作也至關(guān)重要。 針對此應(yīng)用，一種特別的雙進樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個經(jīng)校準的正壓走漏測驗?zāi)K，還具有一個主動化的高真空測驗?zāi)K。首先，將起泡器放置于平臺上。
運用氦氣填充至一定壓力，所 有的接頭都運用正壓走漏檢測設(shè)備“嗅辨”一下。檢測到的走漏記載與起泡器序列號一一對應(yīng)，發(fā)作超過用戶設(shè)置的zui大允許成果走漏的起泡器都會被回絕放行。 然后將起泡器設(shè)備 10 個一排的設(shè)備上，該設(shè)備配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件控制下，外部管線抽真空并堅持狀態(tài)，然后操作者運用外噴霧查看一切接頭時， 質(zhì)譜系統(tǒng)能夠監(jiān)測 氦走漏。 若經(jīng)過走漏測驗，將起泡器抽真空、烘烤。
測試結(jié)束后，氦質(zhì)譜儀檢漏儀系統(tǒng)將對鼓泡器和連接管中的氣體進行主動分析。為了保證試驗結(jié)果，所有鼓泡器中的水、氧和溶劑濃度必須小于1ppm。試驗結(jié)束后，提醒操作人員試驗結(jié)果是否合格或不合格，并記錄所有試驗數(shù)據(jù)，以便追溯。
