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科儀創(chuàng)新技術(shù)有限公司(圖)-包膜式氦測漏系統(tǒng)-氦測漏系統(tǒng)

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多 氫氣檢漏的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

氦氣

氦氣穿透能力強(qiáng)，且易，對漏點(diǎn)有很好的檢出能力，可讓細(xì)微小洞無處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄?。用氦氣穿過小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，氦氣檢漏方法能夠檢測出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。氦氣檢漏方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

氦質(zhì)譜檢漏儀：

1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。

2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。

3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。