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科儀創(chuàng)新技術(shù)有限公司(圖)-板式換熱器氦測(cè)漏系統(tǒng)-氦測(cè)漏系統(tǒng)

真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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氣密檢漏設(shè)備

1. 氣密檢漏設(shè)備檢測(cè)產(chǎn)品有兩種比較直觀的產(chǎn)品，一種是使用測(cè)試氣管直接連接產(chǎn)品的充氣孔(產(chǎn)品自帶充氣孔)，再進(jìn)密性測(cè)試，即采用直接檢測(cè)方法，另一種是將產(chǎn)品放置在仿形模具內(nèi)(根據(jù)產(chǎn)品外形定制)，對(duì)仿形模具內(nèi)腔進(jìn)行充氣，然后進(jìn)密檢漏設(shè)備。

2. 選擇上述不同兩種方法檢測(cè)產(chǎn)品的氣密檢漏設(shè)備。僅在氣密檢漏設(shè)備上選擇相應(yīng)產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)程序，程序根據(jù)產(chǎn)品的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，提前設(shè)定充氣時(shí)間、保壓時(shí)間、檢測(cè)時(shí)間、泄壓時(shí)間及工裝治具的基本檢測(cè)動(dòng)作。

3. 手動(dòng)打開(kāi)氣密檢漏設(shè)備或工裝夾具的啟動(dòng)按鈕，氣密檢漏設(shè)備自動(dòng)進(jìn)入檢測(cè)環(huán)節(jié)，可在10-30秒內(nèi)就能完成檢測(cè)。

4. 檢測(cè)時(shí)如果產(chǎn)品有大泄漏，即時(shí)被判定為不合格。如泄漏值在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，則合格。泄露值超出標(biāo)準(zhǔn)范圍，即是不合格。

氮?dú)夂蜌錃獾幕旌蠚獾挠猛?/strong>

電子器件生產(chǎn)工藝中的應(yīng)用在電子器件生產(chǎn)工藝中，為減少電能消耗，降低成本，都在研發(fā)和使用各種混合氣。其間，以使用氮?dú)浠旌蠚鉃?。用液氫和液氮汽化?lái)取得氮氧混合氣的辦法，因?yàn)檫x用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。若從大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因?yàn)橐旱獊?lái)源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來(lái)源于化肥廠，供應(yīng)上較嚴(yán)重，故成本也較高。