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電力環(huán)網(wǎng)柜真空箱系統(tǒng)檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應(yīng)用的需求，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。

氦氣檢漏設(shè)備的三種常見方法

一、負壓法

負壓法是一種常見而方便的檢漏方法。當進行氦氣檢漏時，氦被連接到充滿氦氣的瓶子中，并且使用噴將氦噴射到泄漏部分。如果氦氣從泄漏孔流入壓力容器裝置，裝置中氦氣的分壓將上升，泄漏率將顯示在氦氣檢漏設(shè)備上。它是否合格取決于標準泄漏率。如果超過標準泄漏率，將被視為不合格。

二、正壓法

正壓方法是首先用一種以上的大氣壓氦氣或氦氣的混合氣體填充壓力容器裝置。在壓力容器裝置的外部檢測中，泄漏孔泄漏到外部氦氣中，然后找到泄漏孔。當用抽吸搜索氦氣時，一旦氦氣被吸入，氦氣檢漏設(shè)備將顯示泄漏率值。在這種情況下，由于壓力容器裝置的外部是一個大氣壓，充入壓力容器裝置的氣壓需要至少一個大氣壓或更多個大氣壓。然而，壓力不應(yīng)太高。如果壓力過高，插入設(shè)備的壓力表或其他插件會彈出，造成傷害和其他危險事故。

三、氦罩法

在這種方法中，用塑料薄膜包裹被測容器，首先除去罩子中的空氣，然后充入氦氣或氦氣混合氣體，檢漏儀與被測容器的內(nèi)部連接，當檢漏儀顯示泄漏率時，指示泄漏。這個泄漏率稱為總泄漏率。總泄漏率是所有泄漏率的總和。如果總泄漏率不超過標準值，則每個泄漏率不超過標準值；如果總泄漏率超過標準值，檢查每個點的泄漏率是否超過標準值。然后調(diào)整修改超過標準值的泄漏孔，直至達到合格標準。